如何判断真空漏气及漏气的来源分析

作者: 伍先生来源: 东莞爱加真空科技有限公司查看联系方式查看评论 2014/11/24 14:45:39

严格地讲，任何真空系统都有漏气现象存在，漏气是的。针对不同的真空系统，可以容许有一定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10 -11 3/s。

真空技术主要应用于半导体工业、表面科学、真空冶金、生物制药、新材料生产与研究等领域中。随着真空技术的发展真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样，具代表性的氦质谱检漏仪、四极质谱仪和残留气体分析仪。

影响系统真空漏汽来源：
1.焊接口漏气
2.封口部漏气
3.真空腔表面材质放出气体
4.渗透
5.真空返流汽体

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