如何判断扩散泵返油及解决办法
作者: 伍先生 来源: 东莞爱加真空科技有限公司 查看联系方式 查看评论 2014/11/15 16:42:37
扩散泵是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了。
爱加真空结合多年的实践经验教大家来判断扩散泵是否出现返油情况以及解决办法：
一、观察黑点特征，一般为圆形，大小不一，基本在产品正面，擦拭即掉；
二、观察该黑点分布特征，一般在高阀进气口附近同一高度分布，如果产品离出口比较远时也可能会广些，背面基本不会有；
三、出现返油时，产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。
当出现这些情况的时候，建议大家这么做：
一、检查扩散泵前级压力，在抽气时是否过高（不应高于10帕），如偏高须检查前级机组性能；
二、检查扩散泵泵体温度，在中部及以上应当是凉的，如果暖甚至热时，需要检查冷却水的效果，下调温控系统温度或增加温控系统。
如果真空规管没有损坏，返油一般是不需要修理的，主要清洗真空室内扩散泵的油。好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是关键的，如果室内还有油的存在，就会出现镀白膜，膜层质量很不好，等现象，并不是因为真空镀膜机坏，而是因为真空室有油。
以上实战方法为爱加真空多年维修经验分享给大家，如有其它真空设备维修问题也可咨询爱加真空，爱加专业维修进口真空镀膜机、美国polycold，是一家集真空、深冷技术为一体的售后服务公司，爱加质量过硬，口碑良好，是镀膜厂售后维修保养。
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