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真空探针台

作者:邱迎迎
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发布时间:2022/5/30 16:32:09

真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探 针台(低温探针台)RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成

高低温真空 探针台应用:

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生产制造领域。

· 结构紧凑,适用于各种变温测试
· -196℃~400℃(配液氮致冷模块)
· 气密腔室设计,可通保护气氛
· 4探针,手动定位(可扩展为6个)

· 支持改动或定制

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真空探针台KT-Z160TZ参数

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

﹣196~400

加热台温控误差

±1

真空度

机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

显示屏

8

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm

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【 责任编辑:郑州科探仪器设备有限公司邱迎迎 】

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