真空探针台
真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探 针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
高低温真空 探针台应用:
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
· 结构紧凑,适用于各种变温测试
· -196℃~400℃(配液氮致冷模块)
· 气密腔室设计,可通保护气氛
· 4探针,手动定位(可扩展为6个)
· 支持改动或定制
真空探针台KT-Z160TZ参数
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真空腔体 |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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上盖开启 |
铰链侧开 |
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加热台材质 |
304不锈钢 |
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内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
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观察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加热台尺寸 |
φ60mm |
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观察窗热台间距 |
75mm |
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加热台温度 |
﹣196~400℃ |
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加热台温控误差 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允许正压 |
≤0.1MPa |
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真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
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气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
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电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
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探针数量 |
4探针 |
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探针材质 |
钨针 |
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探针尖 |
10μm |
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探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
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X轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
电子显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜 |
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物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
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工作间距 |
90mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
|
图像接口 |
VGA |
|
LED可调光源 |
有 |
|
显示屏 |
8寸 |
|
放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm |
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【 责任编辑:郑州科探仪器设备有限公司邱迎迎 】
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