真空等离子清洗机设备

整机尺寸(W*D*H)

1700×1300×1800 mm

腔体尺寸(W*D*H)

1025*850*948 mm

腔体材料

进口316不锈钢

等离子发生器

10KW 40kHZ Camdel 美国

抽风系统

≥2立方/分钟，尾气处理管道即可

电极板数量

15层水平分布

处理层数

15层

单层处理大面积

1030（W）*750（D）mm （可定制）

单次处理时间

3-30分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）

工作真空度

10～60Pa （可根据要求设定，可恒定真空度）

泵可抽极限压力

≤1Pa

抽真空时间

90s以内

破真空时间

≤15s

工艺气体

CF4 ;O2;N2;Ar;H2

供气方式

高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa

流量计调节范围

0-2000ml/min/全自动调节

温度控制调节范围

3匹速冷，30-85℃可调

真空泵系统

1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵

真空测定系统

日本爱发科皮拉尼高精密电阻式真空计

真空供气系统

Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路

真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置

破真空系统

真空角阀

PLC自动控制

三菱

人机工控系统

MCGS

变频控制系统

台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持

机台温控系统

冰水模温一体机，采用内部独立中通冰水循环冷却系统

输入气压监测系统

2路 日本SMC自动报警气压表

气体计量系统

SevenStar MFC气体质量流量计控制流量

冰水机（标配）

/

真空机组（标配）

300m³/H

系统重量

500KG

电源

AC380V，50/60Hz，三相五线100A 15KW

压缩空气要求

0.6～0.8MPa

循环冷却水用量

/

系统环境温湿度要求

温度：5℃~+25℃ 相对湿度：<80%（25℃）

环境压力

1.013×105pa