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电议
| 产品名称： | 高真空大型探针台 | 价格： | 电议 |
| 所属类别： | 热销 | 发货期： | 其它 |
| 发货地： | 河南-郑州 | 品牌： | 郑科探 |
| 型号： | KT-Z160T-RL | 供货量： | 66台 |
高真空大型探针台，采用304不锈钢腔体，样品台温度-196℃到400℃，观察窗尺寸直径70mm，
预算及产品一直是困扰用户的两个难题。郑科探推出的KT-Z160T-RL大型探针台具有探针臂精度小于0.01mm，探针尖10μm，配有电子显微镜放大倍数19-135倍。20升液氮可连续使用30个小时。价格相对合理。
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高真空大型探针台
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真空腔体 |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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上盖开启 |
铰链侧开 |
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加热台材质 |
304不锈钢 |
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内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
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观察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加热台尺寸 |
φ60mm |
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观察窗热台间距 |
75mm |
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加热台温度 |
﹣196~350℃ |
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加热台温控误差 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允许正压 |
≤0.1MPa |
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真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
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气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
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电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
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探针数量 |
4探针 |
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探针材质 |
钨针 |
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探针尖 |
10μm |
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探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
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X轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
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电子显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜 |
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物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
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工作间距 |
90mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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图像接口 |
VGA |
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LED可调光源 |
有 |
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显示屏 |
8寸 |
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放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
销售：仪器仪表，电子元器件，高低压成套设备，机电设备，阀门，五金交电，管件，实验室设备的安装；机电设备安装工程（凭有效资质证经营）；实验室设备及配件的技术开发；软件开发；自动化控制设备的技术开发；从事货物和技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后放可开展经营活动
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