矩形音圈电机在光刻机中应用

标题：供应矩形音圈电机在光刻机中应用

音圈电机(Voice Coil Motor)因其结构类似于喇叭的音圈而得名。具有高频响应、高精度的特点，适合用于短行程的闭环伺服应用。由于它体积小，特别适合用在一些狭小的空间。它响应速度快（毫秒级），本身重量小，因而可达到很高的加速度，可做高速振荡往复运动（可达几十赫兹）。操控简单可靠，无需换向装置，免维护，长寿命，可长期连续工作。
目前音圈电机系统在国内真正能方案制造的公司很少，大多是代销国外的电机,即使有部分公司能做电机本体，由于高精度位移传感器和数字化伺服操控器仍需要依靠进口，这就使音圈电机系统的成本和售价仍然高居不下云熙机电科技廊坊有限公司推出填补了国内在音圈电机系统方案制造的，为今后此类电机系统在自动化设备、精密仪器和医疗设备的大面积推广作好了准备。
云熙机电科技廊坊有限公司制造特种音圈电机、直线电机的动子和定子及对应的高精度磁编码器和光编码器，用户可按照自己的要求方案导轨及其它支撑结构。我们也提供集成结构的音圈电机系统和直线电机系统一揽子解决方案，即电机已经集成有导轨、位置、反馈、操控元件、支撑结构等，用户可像使用普通旋转伺服电机一样直接使用。集成结构的音圈电机，可直接用于精密位置、速度、加速度和推力操控，无反向间隙。位置分辨率可达0.1μm～5μm，输出力为1N～800N，加速度达20G，大行程+/-25毫米,亦可根据客户的要求进行特殊方案。
对推力的精密操控使音圈电机系统可用于只能轻微碰触的细微娇嫩对象，如硅片、IC、生物体和容易变形损坏的物体等。其主要应用的领域有：半导体、光学电子、汽车生产检测、生物生化检测取样、食品制药、组装包装、自动化测试、高速扫描，高效的焊接、贴片、组装、测试与检测设备，光学元件的搬运与检测，各种直线或旋转应用，精密而高速运动设备，特别是需要高速的周期往复运动的应用。

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